Abstract

【課題】高圧力で作動するときに、スパッタリングで生じる堆積物の位置を制御しながら圧力を測定する電離真空計を提供する。 【解決手段】電離真空計100は、電子を放出する少なくとの一つの電子源105と、電離空間を形成する陽極構造体120とを含む。さらに、電離真空計100は、電離空間における、電子と、気体分子及び原子との衝突によって生成されるイオンを収集して、気体圧力を出力するコレクター電極110を含む。電子源105を電離空間の一つの端部に配置して、スパッタリングされたコレクター電極110や外被205の表面から飛び出た原子の流れに対して電子源105が曝されるのを最小限にすることができる。 【選択図】図2

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      Publication numberPublication dateAssigneeTitle
      JP-2005062176-AMarch 10, 2005Varian Spa, ヴァリアン ソシエタ ペル アジオーニ電離真空計
      JP-2011508211-AMarch 10, 2011ブルックス オートメーション インコーポレイテッド冷電子増倍放出源を備える電離真空計
      JP-2011513709-AApril 28, 2011ブルックス オートメーション インコーポレイテッド高圧力動作用に設計された動作パラメータと形状とを有する電離真空計
      JP-2012503199-AFebruary 02, 2012ブルックス オートメーション インコーポレイテッド放出電流およびバイアス電圧を制御する電離真空計
      JP-5728728-B2June 03, 2015エム ケー エス インストルメンツインコーポレーテッドMks Instruments,Incorporated, エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッドMks Instruments,Incorporated高圧力動作用に設計された動作パラメータと形状とを有する電離真空計
      JP-5762749-B2August 12, 2015エム ケー エス インストルメンツインコーポレーテッドMks Instruments,Incorporated, エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッドMks Instruments,Incorporated冷電子増倍放出源を備える電離真空計
      JP-6031502-B2November 24, 2016エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッドMks Instruments,Incorporated, エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッドMks Instruments,Incorporated電離真空計および圧力測定方法

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