Aluminum nitride joined body and method of producing the same

窒化アルミニウム接合体およびその製造方法

Abstract

【課題】温度勾配などの熱的な原因による割れが発生した際にチャンバ等を含む装置の損傷軽減を図りうる窒化アルミニウム焼結体の接合体およびその製造方法を提供する。 【解決手段】接合体1は、窒化アルミニウム焼結体からなる複数の母材11、12同士が接合されることにより構成されている。複数の母材11、12の強度に対する母材11、12同士の接合強度の比率が0.50〜0.90の範囲に含まれている。母材11、12同士の接合箇所のHeリーク量が1.0×10 -9 [Pa・m 3 /s]以下である。 【選択図】図1
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a joined body of aluminum nitride sintered bodies which can reduce damage to a device comprising a chamber or the like at the occurrence of cracks due to a thermal cause such as a temperature gradient, and a method of producing the same.SOLUTION: A joined body 1 is made by joining a plurality of base materials 11, 12 composed of an aluminum nitride sintered body. The ratio of the joint strength of the base materials 11, 12 to the strength of the base materials 11, 12 falls within 0.50-0.90. An He leakage at the joint portion of the base materials 11, 12 is 1.0×10[Pa m/s] or less.
【課題】温度勾配などの熱的な原因による割れが発生した際にチャンバ等を含む装置の損傷軽減を図りうる窒化アルミニウム焼結体の接合体およびその製造方法を提供する。【解決手段】接合体1は、窒化アルミニウム焼結体からなる複数の母材11、12同士が接合されることにより構成されている。複数の母材11、12の強度に対する母材11、12同士の接合強度の比率が0.50〜0.90の範囲に含まれている。母材11、12同士の接合箇所のHeリーク量が1.0?10-9[Pa・m3/s]以下である。【選択図】図1

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Patent Citations (7)

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